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SCRIPTA MATERIALIA

Inicio / SCRIPTA MATERIALIA / Vol: 57 N�m: 8 Par: 0 (2007) / Art�culo

ART�CULO

TITULO

Crystallization of silicon nitride thin films synthesized by plasma-enhanced chemical vapour deposition

Neerushana Jehanathan

Martin Saunders

Yinong Liu and John

Resumen

No disponible

P�GINAS

pp. 739 - 742

N�MERO

Volumen: 57 N�mero: 8 Parte: 0 (2007)

MATERIAS

INGENIER�A Y CONSTRUCCI�N CIVIL

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