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MATERIALS CHARACTERIZATION

Inicio / MATERIALS CHARACTERIZATION / Vol: 50 N�m: 2-3 Par: 0 (2003) / Art�culo

ART�CULO

TITULO

Study of nitrogen-rich silicon oxynitride films obtained by PECVD

Criado

D. Pereyra

I. Alayo

M. I.

Resumen

No disponible

P�GINAS

pp. 167 - 172

N�MERO

Volumen: 50 N�mero: 2-3 Parte: 0 (2003)

MATERIAS

INGENIER�A Y CONSTRUCCI�N CIVIL

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