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SCRIPTA MATERIALIA

Inicio / SCRIPTA MATERIALIA / Vol: 59 N�m: 11 Par: 0 (2008) / Art�culo

ART�CULO

TITULO

Formation of nanocrystals embedded in a silicon nitride film at a low temperature (200 �C)

Kyoung-Min Lee

Tae-Hwan Kim

Wan-Shick Hong

Resumen

No disponible

P�GINAS

pp. 1190 - 1192

N�MERO

Volumen: 59 N�mero: 11 Parte: 0 (2008)

MATERIAS

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